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產(chǎn)品中心

Product Center

高端設(shè)備類產(chǎn)品

UP-HBS-01-300設(shè)備是用于硅基功率器件退火加工的專業(yè)工藝設(shè)備，主要由工藝加工系統(tǒng)和晶圓傳輸系統(tǒng)組成。

  • UP-SOTO1-300 EFEM/SORTER

    UP-SOTO1-300 EFEM/SORTER